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氮化铝单晶材料生长与应用

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氮化铝单晶材料生长与应用

作者:徐科
出版社:西安电子科技大学出版社
ISBN:9787560662831
出版年:2022/9/1

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氮化铝单晶材料生长与应用 简介

氮化铝晶体具有宽带隙、高热导率、高击穿场强等优势,是制备紫外发光器件和大功率电力电子器件的理想材料。本书以作者多年的研究成果为基础,参考国内外的最新研究成果,详细介绍了氮化铝单晶材料生长与器件制备的基本原理、技术工艺、最新进展及发展趋势。本书共7章,内容包括氮化铝单晶材料的基本性质、缺陷及其生长的物理基础,物理气相传输法、氢化物气相外延法、金属有机物化学气相沉积法制备氮化铝单晶和氮化铝器件应用。

本书基于翔实的数据,对氮化铝单晶材料生长的技术方法及应用领域的发展进行了讨论,注重专业性和系统性,具有简明、扼要等特点,可供从事相关研究的科研和工程技术人员阅读,也可作为高等院校相关专业高年级本科生和研究生的参考教材。

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