本书主要介绍了Tanner Tools集成电路设计工具的使用方法，包括S-Edit、T-Spice、L-Edit、Tanner Designer、MEMS Pro五章。书中结合具体案例，对功能定义、电路设计、版图设计、物理验证、仿真验证等环节进行了详细阐述，并提供详细的操作步骤。特别是针对在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的，关系到国家科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术MEMS器件的设计，进行了系统的介绍，为读者提供了高效、完整的学习教程。本书可以作为高等院校微电子专业、半导体专业、电路设计专业的教材，同时还可以作为从事集成电路研究、设计、开发、生产和应用工作的科技人员以及从事微电子、微光学、微机械等微系统版图设计与其他微细加工技术领域工作的科技人员的参考书。