本书是金属有机物气相外延（OMVPE或MOCVD）基础理论和应用实践方面的专著。第1章首先总揽了OMVPE的生长过程，并和其他的外延工艺做细致的比较。第2到第6章则分别论述了OMVPE生长的各个方面：热力学、表面物理过程、反应源、动力学、以及流体力学和质量输运。这些论述不但包括基本的模型论述，还包括主要研究进展以及发展的趋势，内容丰富。第7章讨论了OMVPE生长过程的设计，包括动力学限制及高温区的生长，同时也对整体的OMVPE过程进行设计。第8章则介绍了诸如GaAs，InP，GaN等特定的材料。第9章介绍了超晶格结构，第10章则对OMVPE生长的器件进行了论述。