PVD法制备的SiOx阻隔薄膜存在大量裂纹、针孔等缺陷并且在使用过程中易脆裂，本书针对此问题，通过磁控共溅射有机高分子环氧树脂靶材（顺丁烯二酸酐固化二氧化环氧戊二烯-DCPD／MA）与陶瓷SiO2靶材，制备SiOx-（DCPD／MA）f复合高阻隔薄膜，在SiOx阻隔膜层中引入有机高分子柔性链碎片，增加阻隔层的韧性，提高薄膜耐折性。制备SiOx-（DCPD／MA）f薄膜过程中，通过Ar离子轰击DCPD／MA将其解离成柔性的包含自由基的不饱和高分子链段碎片，与Ar离子轰击SiO2形成的含有Si悬挂键粒子键合成复合薄膜。采用质谱监测技术实施等离子放电特性诊断，通过获得单独分别溅射DCPD／MA与SiO2等离子体气氛中物质组成，进而研究了共溅射等离子气氛中粒子间的化学反应路径。